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      賽瑞達(dá)智能電子裝備（無錫）有限公司
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      賽瑞達(dá)取得一種立式LPCVD設(shè)備工藝腔室專利，解決石英內(nèi)管拆裝不便問題
      賽瑞達(dá)智能電子裝備（無錫）有限公司取得一項(xiàng)名為“一種立式LPCVD設(shè)備工藝腔室”的專利，授權(quán)公告號 CN 222160351 U，申請日期為2024年2月。
      2025-02-14 10:02:14金融界183
      金融界2024年12月18日消息，國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，賽瑞達(dá)智能電子裝備（無錫）有限公司取得一項(xiàng)名為“一種立式LPCVD設(shè)備工藝腔室”的專利，授權(quán)公告號 CN 222160351 U，申請日期為2024年2月。
      專利摘要顯示，本實(shí)用新型公開了一種立式LPCVD設(shè)備工藝腔室，旨在提供一種解決石英內(nèi)管拆裝不便問題的立式LPCVD設(shè)備工藝腔室，其技術(shù)方案要點(diǎn)是，包括石英外管，所述石英外管內(nèi)還設(shè)有工藝管，所述工藝管底端套設(shè)有阻流石英套管，所述阻流石英套管底端還設(shè)有變徑筒，所述變徑筒內(nèi)還設(shè)有旋轉(zhuǎn)裝置與石英管連接。
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