擴(kuò)散爐應(yīng)用于半導(dǎo)體器件、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽(yáng)能電池及大規(guī)模集成電路制造等領(lǐng)域?qū)M(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝，可用于4-8英寸工藝尺寸。

控制系統(tǒng)特點(diǎn)

◎ 工藝曲線的自動(dòng)運(yùn)行控制功能

◎ 可存儲(chǔ)多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能

◎ 系統(tǒng)故障自診功能

◎ 停電后斷點(diǎn)繼續(xù)運(yùn)行功能等

◎ 具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的軟件系統(tǒng),良好的人機(jī)界面

◎ 具有多點(diǎn)溫度補(bǔ)償

◎ 具有多種故障報(bào)警及各種安全互鎖保護(hù)功能

◎ 推拉舟工作過程中掉片率、碎片率≤1/10000，遇到阻礙自動(dòng)停止

◎支持SECS/GEM通訊

◎溫度控制方式：三段內(nèi)外TC雙回路溫度控制

該系統(tǒng)可根據(jù)用戶的特殊要求增減或開發(fā)相應(yīng)的功能

主要技術(shù)指標(biāo)

◎ 晶圓尺寸:4~8英寸

◎ 工藝管數(shù):1~4管/臺(tái)

◎ 工作溫度范圍:600℃~1200℃

◎ 恒溫區(qū)長(zhǎng)度:300~1500mm，恒溫區(qū)溫度（1000℃條件下每間隔30mm測(cè)試一點(diǎn) ）偏差≤±0.7℃

◎ 最大載片量（單管）：≥100片

◎單點(diǎn)控溫精度：≤±0.3℃（800℃~1150℃）

◎ 溫度穩(wěn)定性:≤±0.5℃/24h（800℃）

◎ 最大可控升溫速度:15℃/min

◎ 最大降溫速度:5℃/min

◎ 恒溫區(qū)溫度均勻性:≤±0.5℃@1150℃

◎金屬離子污染：≤5E10 atoms/cm2（Na、Mg、Al、K、Ca 、Cr、Mn、Fe、Ni、Cu）

◎傳送顆粒污染：≤10EA（≥0.3μm）

◎工藝顆粒污染：≤20EA（≥0.3μm）

晶圓工藝指標(biāo)

干氧厚度均勻性：

◎片內(nèi)均勻性：≤±1.5%

◎片間均勻性：≤±1.5%

◎批次間均勻性：≤±1.5%

氫氧合成厚度均勻性：

◎片內(nèi)均勻性：≤±1.5%

◎片間均勻性：≤±1.5%

◎批次間均勻性：≤±1.5%

工藝氣路配置

◎工藝氣路（退火管）：包括但不限于N2 ，O2，1路保護(hù)N2，攜源N2

◎工藝氣路（氫氧合成管）：包括但不限于N2,  H2, O2；攜源N2，1路保護(hù)N2

◎氣路系統(tǒng)氣密性：≤1×10^-9pa.m³/s

◎MFC精度：≤±0.5% FS @ flow range 2%~25%; ≤±1% SP @ flow range 25%~100%

◎管路材質(zhì)為316 EP級(jí)，每一路配置截止閥、調(diào)壓閥、單向閥、過濾器

傳動(dòng)裝置配置

◎傳動(dòng)裝置采用懸臂槳方式，懸臂槳為帶涂層SiC材質(zhì)，承重≥16kg

◎前、后限位開關(guān)、極限位開關(guān)保護(hù)

◎伺服電機(jī)控制進(jìn)退，保證送料裝置平穩(wěn)運(yùn)行，手動(dòng)自動(dòng)加減速可調(diào)，進(jìn)、出舟速率：20-800mm/min，推舟的定位精度≤±1mm

◎配置自動(dòng)導(dǎo)片裝置

可為用戶量身定制非標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品