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立式濕氧化爐
瀏覽器自帶分享功能也很好用哦~立式濕氧化爐是賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司主營產品之一,憑借可靠的質量,穩定的性能,合理的價格,深受好評,廠家足貨供應,請來此了解詳情,采購請聯系13401355060.
產品詳情
立式濕氧化爐技術指標
◎適用范圍：適用于VCSEL等光電器件的熱氧化工藝
◎精準的溫控與均勻性：能在300℃至500℃的關鍵溫度范圍內實現高均勻性加熱，可在此范圍內實現≤±1℃的溫度精準控制
◎水汽控制：能精確控制水汽發生和輸送，保證反應環境穩定
◎批量處理與自動化：支持單次25-75片晶圓同時處理，并具備全自動晶圓搬運功能，滿足量產需求
立式濕氧化爐
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13401355060
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立式濕氧化爐技術指標
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◎精準的溫控與均勻性：能在300℃至500℃的關鍵溫度范圍內實現高均勻性加熱，可在此范圍內實現≤±1℃的溫度精準控制
◎水汽控制：能精確控制水汽發生和輸送，保證反應環境穩定
◎批量處理與自動化：支持單次25-75片晶圓同時處理，并具備全自動晶圓搬運功能，滿足量產需求
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