主要特點

◆產(chǎn)能:2200~2880pcs/管

◆管數(shù):6管

◆壓力控制:APC控制方式

◆系統(tǒng)控制:PLC和PC工控機

◆通訊:Melsec,MES,I/O,SECS-II等

◆自動化集成:用于客戶優(yōu)化和MES控制集成的全自動化解決方案

工藝規(guī)范

◆方阻值:50~350 Ω/cmsq

◆極限真空:≤20mbar

◆方阻均勻性:<5%(片內(nèi)/片間/批間)

優(yōu)勢

◆快速的工藝認證，可以極高的提升生產(chǎn)

◆工藝過程中APC良好的控制工藝管壓力

◆使用Sic槳使加載區(qū)穩(wěn)定

◆更大的正常運行時間和更低的成本，良好的技術(shù)支持和服務(wù)，確保設(shè)備長期穩(wěn)定使用

硬件規(guī)格

◆恒溫區(qū)長度:2800mm

◆溫區(qū)數(shù)量:6個溫區(qū)

◆最高溫度:1050℃

◆溫度均勻性:800℃~1050℃±0.5℃

◆晶圓裝載法:碳化硅懸臂槳

◆槳的最大承重量:100kg

◆工藝腔和舟的材質(zhì):石英管&碳化硅舟托