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◆恒溫區(qū)長度:2800mm
◆溫區(qū)數(shù)量:6個(gè)溫區(qū)
◆最高溫度:1050℃
◆溫度均勻性:800℃~1050℃±0.5℃
◆晶圓裝載法:軟著陸
◆槳的最大承重量:70kg
◆工藝腔和舟的材質(zhì):石英管
主要特點(diǎn)
◆產(chǎn)能:1400~1680pcs/管
◆管數(shù):6管
◆壓力控制:APC控制方式
◆系統(tǒng)控制:PLC和PC工控機(jī)
◆通訊:Melsec,MES,I/O,SECS-II等
◆自動化集成:用于客戶優(yōu)化和MES控制集成的全自動化解決方案
工藝規(guī)范
◆方阻值:50~350Ω/cmsg
◆極限真空:≤20mbar
◆方阻均勻性:<5%(片內(nèi)/片間/批間)
優(yōu)勢
◆快速的工藝認(rèn)證，可以極高的提升生產(chǎn)
◆工藝過程中APC良好的控制工藝管壓力
◆方形插片軟著陸工藝，均勻性好，技術(shù)方案成熟穩(wěn)定
◆更大的正常運(yùn)行時(shí)間和更低的成本，良好的技術(shù)支持和服務(wù),確保設(shè)備長期穩(wěn)定使用
低壓 磷擴(kuò)散爐
硬件規(guī)格
◆恒溫區(qū)長度:2800mm
◆溫區(qū)數(shù)量:6個(gè)溫區(qū)
◆最高溫度:1050℃
◆溫度均勻性:800℃~1050℃±0.5℃
◆晶圓裝載法:軟著陸
◆槳的最大承重量:70kg
◆工藝腔和舟的材質(zhì):石英管
主要特點(diǎn)
◆產(chǎn)能:1400~1680pcs/管
◆管數(shù):6管
◆壓力控制:APC控制方式
◆系統(tǒng)控制:PLC和PC工控機(jī)
◆通訊:Melsec,MES,I/O,SECS-II等
◆自動化集成:用于客戶優(yōu)化和MES控制集成的全自動化解決方案
工藝規(guī)范
◆方阻值:50~350Ω/cmsg
◆極限真空:≤20mbar
◆方阻均勻性:<5%(片內(nèi)/片間/批間)
優(yōu)勢
◆快速的工藝認(rèn)證，可以極高的提升生產(chǎn)
◆工藝過程中APC良好的控制工藝管壓力
◆方形插片軟著陸工藝，均勻性好，技術(shù)方案成熟穩(wěn)定
◆更大的正常運(yùn)行時(shí)間和更低的成本，良好的技術(shù)支持和服務(wù),確保設(shè)備長期穩(wěn)定使用
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