當前位置：

LP-CVD多晶摻雜多晶爐

LP-CVD多晶摻雜多晶爐是賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司主營產品之一,憑借可靠的質量,穩定的性能,合理的價格,深受好評,廠家足貨供應,請來此了解詳情,采購請聯系13401355060.

13401355060

產品詳情

優勢

◆快速的工藝認證，可以極高的提升生產

◆專業的高效電池制造

◆良好的膜厚均勻性，較長的恒溫區

◆更大的正常運行時間和更低的成本，良好的服務和支持確保了長期完美的生產能力

◆Ivoc:>740mV(鈍化后)

主要特點

◆產能:2200~2880pcs/管

◆管數:5管/6管

◆硅片尺寸:182-230mm硅片

◆壓力控制:APC控制

◆系統控制:PLC和PC控制基礎

◆通訊:Melsec，MES，I/O，SECS-II等

◆自動化集成:用于客戶優化和MES控制集成的全自動化解決方案

◆運行時間：97%

硬件規格

◆最高溫度:800℃

◆溫度均勻性:500℃~700℃±0.5℃

◆晶圓裝載法:碳化硅懸臂槳

工藝規范

◆膜厚:1000A~3000A

◆厚度均勻性:<5%(片內/片間/批間均勻性)

◆未摻雜多晶硅(硅烷)

◆N型摻雜多晶硅PH3

◆P型摻雜多晶硅B2H6

LP-CVD多晶摻雜多晶爐

13401355060

產品詳情

優勢

◆快速的工藝認證，可以極高的提升生產

◆專業的高效電池制造

◆良好的膜厚均勻性，較長的恒溫區

◆更大的正常運行時間和更低的成本，良好的服務和支持確保了長期完美的生產能力

◆Ivoc:>740mV(鈍化后)

主要特點

◆產能:2200~2880pcs/管

◆管數:5管/6管

◆硅片尺寸:182-230mm硅片

◆壓力控制:APC控制

◆系統控制:PLC和PC控制基礎

◆通訊:Melsec，MES，I/O，SECS-II等

◆自動化集成:用于客戶優化和MES控制集成的全自動化解決方案

◆運行時間：97%

硬件規格

◆最高溫度:800℃

◆溫度均勻性:500℃~700℃±0.5℃

◆晶圓裝載法:碳化硅懸臂槳

工藝規范

◆膜厚:1000A~3000A

◆厚度均勻性:<5%(片內/片間/批間均勻性)

◆未摻雜多晶硅(硅烷)

◆N型摻雜多晶硅PH3

◆P型摻雜多晶硅B2H6

在線留言

Online Message

相關產品

Related Products

關于我們

產品中心

新聞中心

視頻中心

聯系我們

聯系方式

聯系人：盧經理聯系人：王經理聯系人：吳經理

聯系電話：13401355060 電話：13606146694 電話：15836096835

郵箱：huajun.lu@sunred.cn 郵箱：jun.wang@sunred.cn 郵箱：xingen.wu@sunred.cn

聯系人：唐經理聯系人：劉經理聯系人：蔡經理

聯系電話：15863060657 電話：17715816786 電話：15961762437

郵箱：yao.tang@sunred.cn 郵箱：tianfeng.liu@sunred.cn 郵箱：changpei.cai@sunred.cn

地址：無錫市錫山區高鄧路79號精密機械產業園4號廠房一層南側廠房及辦公場地

蘇ICP備2024110197號-1

品牌認證

576天

已認證

品牌認證

576天

已認證

選擇區號

分享到微信

LP-CVD多晶 摻雜多晶爐

分享到微信

LP-CVD多晶摻雜多晶爐