PE-CVD系統

工藝規范

◆繞鍍：<1mm

◆Poly均勻性(80-150nm):<4%(片內/片間/批間)

◆成膜種類：SiNx,SiONx,POLY

硬件規格

◆溫區數量：6個溫區

◆最高溫度：650℃

◆溫度均勻性：300℃~650℃±1℃

◆晶圓裝載法：槳軟著陸

◆工藝腔的材質：石英

主要特點

◆產能：616~768pcs/管(雙舟)

◆管數：6管

◆壓力控制：APC控制方式

◆系統控制：PLC和PC工控機

◆通訊：Melsec,MES,I/O,SECS-II等

◆自動化集成：用于客戶優化和MES控制集成的全自動化解決方案

優點

◆快速的工藝認證，允許極高的生產提升

◆工藝過程中APC良好的控制工藝管壓力

◆更大的正常運行時間和更低的成本，良好的技術支持和服務，確保設備長期穩定使用